真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機(jī)械真空泵返油的真空閥，安裝于機(jī)械真空泵的進(jìn)氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。

真空閥門的性能特點：

一.壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。

二.真空閥門基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。

介質(zhì)壓力：

1.低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱；

2.中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。

3.高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；

4.超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。

三.結(jié)構(gòu)特點

1.密封結(jié)構(gòu)設(shè)計獨特，漏率可達(dá)到<1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現(xiàn)狀;

2.開關(guān)扭矩小，配置電動執(zhí)行器小，工作穩(wěn)定、可靠;

3.結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，外形簡潔、美觀;

4.該閥既能適用高真空，又能適用一定的正壓力下使用;

5.由于球閥全通導(dǎo)，又能達(dá)到超高真空要求，所以也能適用于加速器真空系統(tǒng)。