產(chǎn)品特色
自動歸位機械裝置
ARM LOCK
Auto-
Relocation
Mechanism
- Stay in closed position against larger pressure difference.
- Keep closed position losing the air power.
真空傳輸閘板閥用來當(dāng)作閘板連接兩個密封腔體?？梢詡鬏斘锲贰?/p>
傳輸閘板閥式設(shè)計單軸作動，無塵且無震。
特殊自鎖動歸位裝置可以確保產(chǎn)品再臨時狀況時，可以自行密封在關(guān)閉位置。
產(chǎn)品壽命高達(dá)100萬次。容易安裝維護(hù)，沒有多余的裝置，也不用重新定位裝置。
Transfer Slit Valves, Aluminum
Catalog PN
Open Size
Figure
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TSV-32X222-AL
32x222
1
340
162
300
222
61
112
222
32
180
429
267
50
TSV-46X236-AL
46x336
2
340
162
300
305
80
112
236
46
180
429
267
50
TSV-50X336-AL
50x336
2
440
162
400
405
81
112
336
50
180
429
267
60
TSV-70X500-AL
70x500
3
610
259
540
586
104
127
500
70
460
594
335
80
Transfer Slit Valves, SUS304
Catalog PN
Open Size
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TSV-32X222-04
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TSV-46X236-04
46x336
2
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112
236
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TSV-50X336-04
50x336
2
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400
405
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TSV-70X500-04
70x500
3
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460
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Transfer Slit Valves, UHV, SUS304
Catalog PN
Open Size
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TSV-UHV-32X222-04
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TSV-UHV-46X236-04
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真空閥門維護(hù)方法
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